近日，据今日日经新闻报道，荷兰ASML今年年底将有一台EUV光刻机向中芯国际交付，但在美国压力下暂停决定暂停交付这台光刻机。对此，ASML表示，“延迟出货只是媒体推测，ASML对全球客户一视同仁。”依据瓦圣纳协议，ASML出口这台光刻机需要等待荷兰政府出口许可，而许可则是今年到期，ASML在到期前已经重新申请，但需要等待荷兰政府核准。
据财联社报道，中芯国际对此也进行了回应：“极紫外光（EUV）还在纸面工作阶段，未进行相关活动。公司先进工艺研发进展顺利。目前，研发与生产的连结一切正常，客户与设备导入正常运作”。
从目前情况来看，此次EUV光刻机交付问题应当还是正常的流程问题。不过中芯国际作为半导体制造公司，主体业务工艺制程的推进亟需这款光刻机设备，如果不能按期交付，这对于中芯国际还是会造成一定影响。在此消息下，昨日中心国际股价跌幅一度超过6%，而其他国产光刻机关联概念股涨幅明显，光刻机国产化再次成为火热议题。
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